文/王新喜
6月19日,彭博社报道,美国怀疑EUV光刻机流入中国。
项立刚认为,美怀疑EUV光刻机运到中国,是因为他们发现中国也能做最顶级的芯片,且是较大规模的,这种指控是为中国EUV光刻机突破做舆论准备,不认为中国能造出EUV。

这个事情引发的讨论越来越多,国际分析师认为,中企现在拿落后设备都能造先进芯片,所以美国怕中国掌握EUV。
在外界看来,中企当下制造先进芯片的设备还是以此前采购的老旧设备,安已达到了台积电和英特尔此前的7nm技术水平。
当然了,这种方法技术瓶颈明显,芯片性能无法达到EUV的水平。

当下华为提出了韬定律和逻辑折叠技术,在不依赖EUV光刻机的前提下,通过对计算单元的电路布局进行堆叠设计,以此来提升芯片的性能和晶体管密度,未来同样能达到EUV造出来先进芯片的水平。
中国若能拿中等马打平你的上等马,那中国手里如果有了上等马,自然会轻易压制你的上等马。
这才是美国担心的问题。
那么现在美国就是要制造这种风声鹤唳草木皆兵的氛围,让荷兰清楚这背后的后果。
荷兰在美国面前已彻底软了下来,拼命向美国承诺绝没有把EUV光刻机提供给中国。
阿斯麦发言人在公开声明中进一步澄清:公司不仅从未向中国交付过一台EUV光刻机,也没有出口过任何专为该设备设计的专属组件、模块或配套辅助设备,所有相关流转记录均完全符合管制要求。

这越来越像一场美国有目的的施压——推动出口管制从EUV扩大到DUV,借EUV可能流入中国敲打阿斯麦,逼他们进一步收紧对华出口。
中国能不能造出EUV光刻机?
在项立刚看来,EUV光刻机这么大的设备,它有编号台账,被进行严格管控,运到中国根本不可能。

另一方面,中国的芯片制造产业从2021年起步,到现在已经发生了翻天覆地的变化。
很多人认为光刻机中国造不出来,是因为它是全球顶级技术的集大成者,有10万个零部件,全球几千家供应商,蔡司的镜头、美国的光源技术、日本和欧洲的一堆精密材料,全都绕在里面。
但在项立刚看来,这光刻机10万个零件大部分都是螺丝钉,看起来是世界多国合作,但这多个国家能抵得上中国的长三角和珠三角吗?

他认为,以前,中国没有进入芯片产业,除了技术实力较弱之外,原因是缺市场,对光刻机设备需要量太少了。ASML很早就研发出了EUV光刻机,但在前10年内一台都没有卖出去。
在项立刚看来,现在中国不缺资金,不缺人才,不缺市场,拥有全世界最完整的产业配套能力,光刻机的那些部件,只要有中国的长三角和珠三角就够了。
他认为,中国中国芯片生产制造三年一个台阶,2023 年基本形成能力,大量芯片厂投产,2026 年先进制程芯片,逼近世界先进水平。2029 年,中国会在先进制程芯片领先世界,就是这么个节奏。
他最后总结,中国不仅能造出EUV,还能打成白菜价。
对于项立刚所说的,我们要客观来看,中国迟早会造出EUV光刻机这个大方向肯定没问题。
但是项立刚认为,2029年,中国就会在先进芯片制程领先世界,这意味着在他看来,2029年中国就能研发出EUV光刻机。
但EUV光刻机的这种顶级科技皇冠的攻坚,要遵循客观规律,我们现在搞光刻机,是在美国的封锁下,把所有核心环节全部自己重做一遍。

EUV的光源,ASML用的是激光轰击锡滴产生等离子体的方案,每秒要打五万次锡珠,稳定输出13.5纳米的极紫外光,功率要做到几百瓦才能满足量产需求。这套技术美国Cymer公司研发了二十多年。
中国现在光源要自己研发,镜头要自己磨,工件台要自己做,甚至光刻胶、特种气体、精密轴承这些配套,都要从头突破。
相当于别人攒一台顶配电脑,所有配件都能买到最好的。我们是连CPU、显卡、内存都要自己做,难度根本不在一个量级上。

ASML从65nm走到3nm以下,用了二十年,我们的光刻机产业,上海微电子2002年才成立,真正大规模砸钱搞先进制程也就是最近五六年的事。
高盛说中国光刻机落后ASML二十年,这话有点夸张,毕竟我们有产业链优势,但行业内普遍判断是,DUV我们大概落后3-5年,EUV领域落后10-15年,这个差距是比较客观的。

当下连华为也不敢打包票,国内在2029年就能攻克EUV光刻机。
这一点,根据华为官方放出来的技术演进路线可以推算,基于华为韬定律,麒麟芯片在2030年的核心频率将达到4.3GHz,2031年将突破至5GHz,这是处于没有EUV技术的情况下所衍生出来的芯片性能目标。

从华为的角度来看,它是给自己做备胎,通过韬定律这种曲线救国的方式去实现没有EUV光刻机的情况下,2031年所实现的芯片性能目标。
但大致也能推测,中国在2030年前后,可能是没办法量产EUV光刻机的。
EUV光刻机研发出来,就要打成白菜价吗?
项立刚还提到一个点就是,就是中国研发出了EUV光刻机,要搞成白菜价。
EUV光刻机是目前为止,中国科技史上最难的攻坚项目,它几乎需要集结全国科技与制造业之力来举国攻坚,投入大量人力物力财力,难度远超高铁、盾构机等项目。

这么一个人类史上从未有国家单独做到的奇迹,我们业内张口就是做成后打成白菜价,这是对我们的研发人员的价值,对我们产业链成果的不尊重。
我们科技攻坚的目的不只为了出那一口气,是真正为了科技让生活更美好,也为了让我们有更多的利润形成研发正循环。

ASML它一台EUV卖1.5亿美元,2025年ASML全年营收327亿欧元,净利润96亿欧元,同年它砸了47亿欧元做研发,研发费用率稳定在14%以上。
换算成人民币,它一年光研发就投了360多亿,比国内整个半导体设备行业一年的研发总投入还高。
这才是ASML能垄断全球三十年的密码:靠技术垄断拿高利润,靠高利润反哺下一代研发,把技术代差越拉越大,形成牢不可破的正向循环。

如果我们打成白菜价,没有利润,研发资金从哪里来,如何形成牢不可破的技术迭代优势?
高端产业的竞争,归根结底是人才的竞争。国内搞光刻机的核心工程师,学光学的、精密机械的、学材料的,哪个不是十年以上的积累?
他们天天跟纳米级的精度死磕,熬无数个通宵调设备,啃着全世界最难的技术难题。

合理的利润与匹配的薪酬,才能让更多顶尖人才愿意投身硬科技,如果辛苦搞研发,最后卖成白菜价,从业者连体面收入都拿不到,谁还愿意沉下心来啃硬骨头?
ASML的顶级光学工程师,人家靠技术就能过上体面的生活,一辈子深耕一个细分领域。
三星SK海力士如果光想着把存储芯片打成白菜价,那么这一轮AI红利,三星SK海力士就吃不到一年几千亿元的利润,他们员工不可能有300万甚至600万奖金,而是以低价产品输送全世界,为别人做嫁衣。
我们要追平技术差距,首先就得承认技术的价值,承认工程师的价值,而不是天天琢磨着怎么把东西卖白菜价。
中国有一天突破EUV光刻机,肯定是要出口的,我们会以价格优势竞争,并不意味着要以别人四分之一五分之一这种极端低价出口,这是把自己的辛苦研发成果便宜别国,卷了自己人。
我们未来要摒弃的思维,就是顶尖科技白菜价思维,这可能是我们科技创新之路走得更远的关键。